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本课题组实验设备主要依托中科院上海微系统所的两个重点实验室(集成电路材料全国重点实验室、中国科学院太赫兹固态技术重点实验室)的支持。重点实验室拥有丰富的器件表征设备(低温电子输运测试系统、傅里叶变换红外光谱仪、频谱分析仪、微波射频源、低温探针台等),半导体制备工艺平台(分子束外延设备、光刻机、电子束蒸发、干法刻蚀机、介质膜蒸镀设备等)与器件后端封装工艺线(划片机、焊线机、贴片机等),这些设备将为本课题组项目的顺利开展提供强有力的硬件保障。

联系方式

上海市长宁路865号

sqdu@mail.sim.ac.cn

+86-021-62511070 (总机)

交通

地铁:2、3、4号线中山公园站

公交:13路、20路、737路、941路

自驾:内环高架路武夷路出口、延安高架路凯旋路出口