实验设备

本课题组实验设备主要依托中科院上海微系统所的两个重点实验室（集成电路材料全国重点实验室、中国科学院太赫兹固态技术重点实验室）的支持。重点实验室拥有丰富的器件表征设备（低温电子输运测试系统、傅里叶变换红外光谱仪、频谱分析仪、微波射频源、低温探针台等），半导体制备工艺平台（分子束外延设备、光刻机、电子束蒸发、干法刻蚀机、介质膜蒸镀设备等）与器件后端封装工艺线（划片机、焊线机、贴片机等），这些设备将为本课题组项目的顺利开展提供强有力的硬件保障。